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晶圆盒全自动包装机

Name: 晶圆盒全自动包装机
Rating: 4.9 (97 reviews)

RFID读写，盒内晶圆状态视觉检测，FOSB配件，移除，标签打印和贴附，真空热封PE & Alu袋，对热封效果配备视觉检查。适用于300mm FOSB/FOUP的自动包装封口，也可根据其他规格的晶圆载体封装需求进行调整。

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流程说明:

RFID读写，盒内晶圆状态视觉检测，FOSB配件移除，标签打印和贴附，真空热封PE & Alu袋，对热封效果配备视觉检查。

关键参数:

•洁净标准：10级洁净室

•洁净室机器人：KUKA洁净室机器人x3台

•在FOSB进料站和热封过程完成后进行CCD检查。

•UPH: 20 FOSB/小时

•机器尺寸：4500 (L)*5600(W) *2600(H)mm

应用:

适用于300mm FOSB/FOUP的自动包装封口，也可根据其他规格的晶圆载体封装需求进行调整。

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