공정 설명:
이 장비는 세정실에서 세정제가 포함된 초순수를 사용하여 제품을 세정합니다. 헹굼실에서는 초순수를 사용하여 헹굼을 진행하며, 건조실에서는 가열된 청정 건조 공기를 사용하여 제품을 건조합니다.(FOUP & FOSB)
주요 사양:
-- 청정도 기준: 클래스 1,000 클린룸 표준
-- 재질: 대부분 수입 소재 및 브랜드 채택
-- 소프트웨어: Wonderware 소프트웨어를 사용하여 공정의 실시간 운영 관리
-- 바코드 추적: RFID 스캐너를 이용해 FOUP 및 FOSB의 RFID 코드 스캔 및 추적
-- PLC: Siemens S7-300
-- CT: 시간당 20개 캐리어 처리
