晶圆盒清洗机

制程说明

此设备在清洗室使用含清洗剂的去离子水清洗产品，在冲淋室使用去离子水，在干燥室使用加热的干燥洁净空气烘干产品 （FOUP&FOSB)

关键参数

• 洁净标准：千级无尘室标准

• 材料：大部分采用进口材料和品牌

• 软件：使用Wonderware软件来做制程中实时操作管理

• 条码跟踪：使用RFID扫码枪来扫描跟踪FOUP&FOSB上的RFID码

• PLC：西门子PLCS7-300

• CT：20个载体篮子/hrs.