プロセス説明：
RFIDの読み書き、ボックス内のウェーハ状態の外観検査、FOSB部品の除去、ラベルの印刷と貼付、PEおよびアルミ袋での真空熱シール、熱シール効果に対するビジョン検査を実施。
主な仕様：
• クリーンレベル：クラス10クリーンルーム
• クリーンルームロボット：KUKA製クリーンルーム対応ロボット×3台
• FOSBの投入ステーションおよび熱シール工程完了後にCCD検査を実施
• UPH（生産能力）：20 FOSB／時間
• 機械寸法：4500（L）×5600（W）×2600（H）mm
用途:
• 300mm FOSB／FOUPの自動包装・封止に対応。その他のサイズのウェーハキャリアの封止要求にも対応可能。
