プロセス概要：
本装置は、洗浄チャンバーで洗浄剤を含む超純水を使用して製品を洗浄し、シャワーチャンバーでは超純水を使用し、乾燥チャンバーでは加熱されたクリーンエアを用いて製品（FOUPおよびFOSB）を乾燥させます。
主な仕様:
-- クリーン度基準：クラス1000クリーンルーム規格
-- 材料：大部分に輸入材料とブランドを採用
-- ソフトウェア：Wonderwareソフトウェアを使用してプロセス中のリアルタイム操作管理を実施
-- バーコードトレース：RFIDスキャナーでFOUPおよびFOSB上のRFIDコードをスキャン・トレース
-- PLC：シーメンスPLCS7-300
-- 処理能力（CT）：20キャリアバスケット／時間
